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首先呢,你得搞清楚自己要過濾啥氣體。就像做飯得知道食材一樣,半導體工藝里用的氣體可不少,像氫氣、氮氣這些。而且每種氣體的脾氣還不一樣呢。比如氫氣,它愛 “發(fā)火”(易燃易爆),那選過濾器的時候,材料和密封得特別好,別讓它有機會 “鬧事”;氧氣...
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