TF系列工藝氣體專用過濾器,專為半導體領域設計,精準清除UHP超純氣流微粒,保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡便,僅需氣路對接與螺母緊固,避免焊接風險,確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造結構緊湊輕盈,大幅降低壓力損耗,展現(xiàn)卓越微粒過濾效率,...
擴散器專用過濾器,專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。獨特的全316L不銹鋼結構,不僅確保高效過濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,對工藝室...
BF系列大宗氣體專用過濾器,專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計,采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設計確保高流通量下低阻損,過濾精度高達0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構造,是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...
RF系列多孔金屬限流器RF系列多孔金屬限流器,通過與不同規(guī)格的氣阻配件結合,安裝在壓縮氣體供應管線和氣體分配歧管中,以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調(diào)節(jié)器故障,引起的意外高氣體流量。在半導體制程氣體輸送分配系統(tǒng)中,用于保護氣體流量穩(wěn)定可靠...
KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器易于安裝于真空系統(tǒng),特別適用于實現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設備吞吐量。在規(guī)范安裝及操作條件下,可確保產(chǎn)品完整性達3,000,000次循環(huán)。該過濾器廣泛應用于半導體設備接口(如CVD、PVD、E...
HF系列高壓氣體專用過濾器,用于半導體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅固的316L不銹鋼結構和50Mpa設計壓力以及相對較輕的重量相結合,兼具高強度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命,能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及...
DF系列擴散器專用過濾器,專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。獨特的全316L不銹鋼結構,不僅確保高效過濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,...
MF系列儀器保護專用過濾器,全金屬材質(zhì),專為半導體氣體分配系統(tǒng)設計,兼容114”、3/8”及1/2‘‘VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝,是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設備不可或缺的守護屏障。在高達400℃環(huán)境下,能有效阻隔微粒侵...
OF系列在線式專用氣體過濾器,專為高流量電子級氣體超純凈化設計,過濾精度高達0.003um。其結構緊湊、強度高,與多種半導體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數(shù)高純度半導體工藝氣體的兼容...
SF系列IGS面板專用過濾器,用于半導體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng),兼容C型和W型多種密封規(guī)格,實現(xiàn)0.003um級高效顆粒過濾,保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量,適助力設備升級無憂。全316L不銹鋼構造,堅固耐用,緊湊...
TF系列工藝氣體專用過濾器,專為半導體領域設計,精準清除UHP超純氣流微粒,保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡便,僅需氣路對接與螺母緊固,避免焊接風險,確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造結構緊湊輕盈,大幅降低壓力損耗,展現(xiàn)卓越微粒過濾效率,...
TF系列工藝氣體專用過濾器,專為半導體領域設計,精準清除UHP超純氣流微粒,保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡便,僅需氣路對接與螺母緊固,避免焊接風險,確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造結構緊湊輕盈,大幅降低壓力損耗,展現(xiàn)卓越微粒過濾效率,...