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在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)世界里，那可是 “失之毫厘，謬以千里”。超純氣體在芯片制造過(guò)程中無(wú)處不在，像氮?dú)庥糜诖祾吆捅Ｗo(hù)，氫氣用于還原反應(yīng)，氧氣用于氧化工藝等。而半導(dǎo)體超純氣體過(guò)濾器，就是保證這些氣體超純的大功臣。
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